ホール効果測定システム
平成23年度『ものづくり中小企業製品開発支援補助金』採択事業にて、
低価格で高機能なホール効果測定装置を開発しました
支援機関 ： (財) 福岡県産業・科学技術振興財団
ホール効果測定システム(Hall Effect Measurement System) MODEL：KSH-01
装置構成
| 計測システム本体 | 試料ホルダー | マグネット | 測定 |
|---|---|---|---|
| ・直流電流源、直流電圧計が独立機構による安定性と精密性 ・Van Der Pauw による計測 ・磁場の自動回転機構による自動計測化 |
・プローブ式による容易な試料交換 ・架台上部に設置した取替え用作業台によるスムーズな取替え性 |
・漏れ磁束の少ない永久磁石採用オプションにより磁界強度を変更可能 (御相談に応じての特注仕様となります) | ・パラメーター設定後、磁場回転を含む全自動測定・計算 |
装置仕様
| 直流電流源 | |
|---|---|
| 最大出力 | ±200mA |
| 最少分解能 | 100nA |
| 出力ノイズ | 30nAp-p 以下 (*数mAレンジ、DC-100Hz低周波ノイズ) |
| 直流電圧計 | |
|---|---|
| 最大許容入力電圧 | 1kV |
| 最少分解能 | 100nA (*100mVレンジ) |
| 入力インピーダンス | 1GΩ (*100ｍAレンジ) |
| 表示桁数 | 6桁 |
| マグネット | |
|---|---|
| 発生磁場強度 | 3.5kOe |
| 測定環境 | |
|---|---|
| 測定温度 | 室温 |
| 大きさ | |
|---|---|
| H760mm×W660mm×D532mm |
| PC動作環境 | |
|---|---|
| Windows7、XP、Vista対応 |
測定画面
2種類の電極配置、電流極性反転、磁場方向反転した計8種類のコンフィギュレーションにて電圧測定を行い、「ホール電圧」、「ホール係数」、「キャリアタイプ」、「キャリア濃度」、「移動度」を計算し、表示します。
多種の計測サンプル
Si、SiC、ZnO、Cu(ln、Ga)Se2、Graphene etc
測定例
イオン注入SiC薄膜 膜厚：130nm
測定データはサンプルや測定方法によって、誤差の度合いは変化します。
試験評価もしますので、測定対象のご質問に関してはご相談下さい。
本事業は、平成23年度ものづくり中小企業製品開発支援補助金の助成を受けて(財)福岡県産業・科学技術振 興財団の支援の下に行っております。
お問い合わせ
ご質問・ご相談は、お電話からお願いします。株式会社九酸 北九州営業所
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